Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс: http://elib.bspu.by/handle/doc/31904
Название: Повреждение структуры кремния при нанесении тонких пленок методом ИАНПУС
Авторы: Ташлыков, Игорь Серафимович
Михалкович, Олег Михайлович
Ключевые слова: БГПУ
кремний
тонкие пленки
ионно-ассистированное нанесение покрытий в условиях самооблучения (ИАНПУС)
композиционный состав
повреждение структуры
Дата публикации: 2007
Издатель: Могилевский государственный университет им. А.А. Кулешова
Серия/номер: Международная научно-практическая конференция «Оптика неоднородных структур-2007». Могилев, 2–3 октября 2007 г.;с. 3–6
Краткий осмотр (реферат): Обсуждаются результаты изучения композиционного состава, повреждения структуры кремния, модифицированного ионно-ассистированным нанесением покрытий в условиях самооблучения (ИАНПУС).
URI (Унифицированный идентификатор ресурса): http://elib.bspu.by/handle/doc/31904
Располагается в коллекциях:Научные публикации физико-математического факультета

Файлы этого ресурса:
Файл Описание РазмерФормат 
3-ОНС-2007-3-МОМ.pdf482,61 kBAdobe PDFПросмотреть/Открыть


Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.