Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс:
http://elib.bspu.by/handle/doc/31904| Название: | Повреждение структуры кремния при нанесении тонких пленок методом ИАНПУС |
| Авторы: | Ташлыков, Игорь Серафимович Михалкович, Олег Михайлович |
| Ключевые слова: | БГПУ кремний тонкие пленки ионно-ассистированное нанесение покрытий в условиях самооблучения (ИАНПУС) композиционный состав повреждение структуры |
| Дата публикации: | 2007 |
| Издатель: | Могилевский государственный университет им. А.А. Кулешова |
| Серия/номер: | Международная научно-практическая конференция «Оптика неоднородных структур-2007». Могилев, 2–3 октября 2007 г.;с. 3–6 |
| Краткий осмотр (реферат): | Обсуждаются результаты изучения композиционного состава, повреждения структуры кремния, модифицированного ионно-ассистированным нанесением покрытий в условиях самооблучения (ИАНПУС). |
| URI (Унифицированный идентификатор ресурса): | http://elib.bspu.by/handle/doc/31904 |
| Располагается в коллекциях: | Научные публикации физико-математического факультета |
Файлы этого ресурса:
| Файл | Описание | Размер | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| 3-ОНС-2007-3-МОМ.pdf | 482,61 kB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.