Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс:
http://elib.bspu.by/handle/doc/31904Полная запись метаданных
| Поле DC | Значение | Язык |
|---|---|---|
| dc.contributor.author | Ташлыков, Игорь Серафимович | - |
| dc.contributor.author | Михалкович, Олег Михайлович | - |
| dc.date.accessioned | 2018-03-16T13:31:47Z | - |
| dc.date.available | 2018-03-16T13:31:47Z | - |
| dc.date.issued | 2007 | - |
| dc.identifier.uri | http://elib.bspu.by/handle/doc/31904 | - |
| dc.description.abstract | Обсуждаются результаты изучения композиционного состава, повреждения структуры кремния, модифицированного ионно-ассистированным нанесением покрытий в условиях самооблучения (ИАНПУС). | ru_RU |
| dc.language.iso | other | ru_RU |
| dc.publisher | Могилевский государственный университет им. А.А. Кулешова | ru_RU |
| dc.relation.ispartofseries | Международная научно-практическая конференция «Оптика неоднородных структур-2007». Могилев, 2–3 октября 2007 г.;с. 3–6 | - |
| dc.subject | БГПУ | ru_RU |
| dc.subject | кремний | ru_RU |
| dc.subject | тонкие пленки | ru_RU |
| dc.subject | ионно-ассистированное нанесение покрытий в условиях самооблучения (ИАНПУС) | ru_RU |
| dc.subject | композиционный состав | ru_RU |
| dc.subject | повреждение структуры | ru_RU |
| dc.title | Повреждение структуры кремния при нанесении тонких пленок методом ИАНПУС | ru_RU |
| dc.type | Article | ru_RU |
| Располагается в коллекциях: | Научные публикации физико-математического факультета | |
Файлы этого ресурса:
| Файл | Описание | Размер | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| 3-ОНС-2007-3-МОМ.pdf | 482,61 kB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.