Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс:
http://elib.bspu.by/handle/doc/31403
Название: | Массоперенос в Si при нанесении Ti тонких пленок, ассистированном собственными ионами |
Авторы: | Михалкович, Олег Михайлович Гусаков, В. Е. Ташлыков, Игорь Серафимович |
Ключевые слова: | БГПУ кремний тонкие пленки Ti ионно-ассистированное нанесение покрытий массоперенос |
Дата публикации: | 2011 |
Издатель: | БГУ, Минск |
Серия/номер: | 9-я Международная конференция «Взаимодействие излучений с твердым телом» (ВИТТ-2011). Минск, 20–22 сентября 2011 г.;с. 147–149 |
Краткий осмотр (реферат): | Обсуждаются результаты изучения композиционного состава, диффузионных процессов в Si, модифицированном осаждением Ti покрытий в условиях ассистирования собственными ионами, когда образцы кремния были предварительно облученными ионами ксенона и необлученными. |
URI (Унифицированный идентификатор ресурса): | http://elib.bspu.by/handle/doc/31403 |
Располагается в коллекциях: | Научные публикации физико-математического факультета |
Файлы этого ресурса:
Файл | Описание | Размер | Формат | |
---|---|---|---|---|
3-ВИТТ-2011-147-МОМ.pdf | 722,69 kB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.