Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс: http://elib.bspu.by/handle/doc/31403
Название: Массоперенос в Si при нанесении Ti тонких пленок, ассистированном собственными ионами
Авторы: Михалкович, Олег Михайлович
Гусаков, В.Е.
Ташлыков, Игорь Серафимович
Ключевые слова: БГПУ
кремний
тонкие пленки Ti
ионно-ассистированное нанесение покрытий
массоперенос
Дата публикации: 2011
Издатель: БГУ, Минск
Серия/номер: 9-я Международная конференция «Взаимодействие излучений с твердым телом» (ВИТТ-2011). Минск, 20–22 сентября 2011 г.;с. 147–149
Краткий осмотр (реферат): Обсуждаются результаты изучения композиционного состава, диффузионных процессов в Si, модифицированном осаждением Ti покрытий в условиях ассистирования собственными ионами, когда образцы кремния были предварительно облученными ионами ксенона и необлученными.
URI (Унифицированный идентификатор ресурса): http://elib.bspu.by/handle/doc/31403
Располагается в коллекциях:Научные публикации физико-математического факультета

Файлы этого ресурса:
Файл Описание РазмерФормат 
3-ВИТТ-2011-147-МОМ.pdf722,69 kBAdobe PDFПросмотреть/Открыть


Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.