Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс: http://elib.bspu.by/handle/doc/31403
Полная запись метаданных
Поле DCЗначениеЯзык
dc.contributor.authorМихалкович, Олег Михайлович-
dc.contributor.authorГусаков, В. Е.-
dc.contributor.authorТашлыков, Игорь Серафимович-
dc.date.accessioned2018-03-03T12:45:17Z-
dc.date.available2018-03-03T12:45:17Z-
dc.date.issued2011-
dc.identifier.urihttp://elib.bspu.by/handle/doc/31403-
dc.description.abstractОбсуждаются результаты изучения композиционного состава, диффузионных процессов в Si, модифицированном осаждением Ti покрытий в условиях ассистирования собственными ионами, когда образцы кремния были предварительно облученными ионами ксенона и необлученными.ru_RU
dc.language.isootherru_RU
dc.publisherБГУ, Минскru_RU
dc.relation.ispartofseries9-я Международная конференция «Взаимодействие излучений с твердым телом» (ВИТТ-2011). Минск, 20–22 сентября 2011 г.;с. 147–149-
dc.subjectБГПУru_RU
dc.subjectкремнийru_RU
dc.subjectтонкие пленки Tiru_RU
dc.subjectионно-ассистированное нанесение покрытийru_RU
dc.subjectмассопереносru_RU
dc.titleМассоперенос в Si при нанесении Ti тонких пленок, ассистированном собственными ионамиru_RU
dc.typeArticleru_RU
Располагается в коллекциях:Научные публикации физико-математического факультета

Файлы этого ресурса:
Файл Описание РазмерФормат 
3-ВИТТ-2011-147-МОМ.pdf722,69 kBAdobe PDFПросмотреть/Открыть


Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.