Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс:
http://elib.bspu.by/handle/doc/31403
Полная запись метаданных
Поле DC | Значение | Язык |
---|---|---|
dc.contributor.author | Михалкович, Олег Михайлович | - |
dc.contributor.author | Гусаков, В. Е. | - |
dc.contributor.author | Ташлыков, Игорь Серафимович | - |
dc.date.accessioned | 2018-03-03T12:45:17Z | - |
dc.date.available | 2018-03-03T12:45:17Z | - |
dc.date.issued | 2011 | - |
dc.identifier.uri | http://elib.bspu.by/handle/doc/31403 | - |
dc.description.abstract | Обсуждаются результаты изучения композиционного состава, диффузионных процессов в Si, модифицированном осаждением Ti покрытий в условиях ассистирования собственными ионами, когда образцы кремния были предварительно облученными ионами ксенона и необлученными. | ru_RU |
dc.language.iso | other | ru_RU |
dc.publisher | БГУ, Минск | ru_RU |
dc.relation.ispartofseries | 9-я Международная конференция «Взаимодействие излучений с твердым телом» (ВИТТ-2011). Минск, 20–22 сентября 2011 г.;с. 147–149 | - |
dc.subject | БГПУ | ru_RU |
dc.subject | кремний | ru_RU |
dc.subject | тонкие пленки Ti | ru_RU |
dc.subject | ионно-ассистированное нанесение покрытий | ru_RU |
dc.subject | массоперенос | ru_RU |
dc.title | Массоперенос в Si при нанесении Ti тонких пленок, ассистированном собственными ионами | ru_RU |
dc.type | Article | ru_RU |
Располагается в коллекциях: | Научные публикации физико-математического факультета |
Файлы этого ресурса:
Файл | Описание | Размер | Формат | |
---|---|---|---|---|
3-ВИТТ-2011-147-МОМ.pdf | 722,69 kB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.