Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс: http://elib.bspu.by/handle/doc/9280
Название: Пространственное распределение радиационных нарушений в кремнии, облученном ионами аргона
Авторы: Гетц, Г.
Клинге, К.-Д.
Швабе, Ф.
Гуманский, Г.А.
Соловьев, B.C.
Ташлыков, Игорь Серафимович
Ключевые слова: БГПУ
кремний
ион аргона
ионная имплантация
метод обратного рассеяния ионов гелия
Дата публикации: 1974
Издатель: International conference on ion implantation in semiconductors. Lublin. 9–12 September 1974
Серия/номер: ;vol. 1, p. 195–204
Краткий осмотр (реферат): Методом обратного рассеяния протонов и ионов гелия в сочетании с послойным стравливанием изучалось разупорядочение структуры на различных глубинах в эпитаксиальном кремнии при внедрении ионов аргона с энергией 200 кэВ и интегральным потоком от 5*10^14 до 5*10^15 ионов/см^2 при 20°С и 200°С и последующем отжиге. Установлено наличие разупорядочения на глубинах больше 1 мк, т.e. превышающих пробег ионов, показано влияние условий облучения и термообработки на глубину распределения радиационных нарушений.
URI (Унифицированный идентификатор ресурса): http://elib.bspu.by/handle/doc/9280
Располагается в коллекциях:Научные публикации физико-математического факультета

Файлы этого ресурса:
Файл Описание РазмерФормат 
6-34-Konf-Lublin-seh_1974.pdf961,98 kBAdobe PDFПросмотреть/Открыть


Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.