Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс:
http://elib.bspu.by/handle/doc/9230| Название: | Распределение углерода в кремнии при ионной имплантации |
| Авторы: | Гуманский, Г.А. Ташлыков, Игорь Серафимович |
| Ключевые слова: | БГПУ кремний углерод ионная имплантация |
| Дата публикации: | 1978 |
| Серия/номер: | Электронная техника. Сер. Микроэлектроника;вып. 5(77), c. 65–71 |
| Краткий осмотр (реферат): | Приводится анализ пространственного распределения углерода, внедренного в кремний методом ионно-лучевого легирования, а также сведения об изменениях профилей пространственного распределения углерода в кремнии при термообработке и о глубинном распределении атомов матрицы (кремния) в имплантированном слое. Исследование выполнено неразрушающим методом – методом обратного рассеяния ускоренных до энергии 1,4 мэВ ионов гелия. |
| URI (Унифицированный идентификатор ресурса): | http://elib.bspu.by/handle/doc/9230 |
| Располагается в коллекциях: | Научные публикации физико-математического факультета |
Файлы этого ресурса:
| Файл | Описание | Размер | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| 6-27-Эл_техн-1978-5(77)-(65-71).pdf | 790,3 kB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.