Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс:
http://elib.bspu.by/handle/doc/9230Полная запись метаданных
| Поле DC | Значение | Язык |
|---|---|---|
| dc.contributor.author | Гуманский, Г.А. | - |
| dc.contributor.author | Ташлыков, Игорь Серафимович | - |
| dc.date.accessioned | 2016-01-21T13:00:50Z | - |
| dc.date.available | 2016-01-21T13:00:50Z | - |
| dc.date.issued | 1978 | - |
| dc.identifier.uri | http://elib.bspu.by/handle/doc/9230 | - |
| dc.description.abstract | Приводится анализ пространственного распределения углерода, внедренного в кремний методом ионно-лучевого легирования, а также сведения об изменениях профилей пространственного распределения углерода в кремнии при термообработке и о глубинном распределении атомов матрицы (кремния) в имплантированном слое. Исследование выполнено неразрушающим методом – методом обратного рассеяния ускоренных до энергии 1,4 мэВ ионов гелия. | ru_RU |
| dc.language.iso | other | ru_RU |
| dc.relation.ispartofseries | Электронная техника. Сер. Микроэлектроника;вып. 5(77), c. 65–71 | - |
| dc.subject | БГПУ | ru_RU |
| dc.subject | кремний | ru_RU |
| dc.subject | углерод | ru_RU |
| dc.subject | ионная имплантация | ru_RU |
| dc.title | Распределение углерода в кремнии при ионной имплантации | ru_RU |
| dc.type | Article | ru_RU |
| Располагается в коллекциях: | Научные публикации физико-математического факультета | |
Файлы этого ресурса:
| Файл | Описание | Размер | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| 6-27-Эл_техн-1978-5(77)-(65-71).pdf | 790,3 kB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.