Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс:
http://elib.bspu.by/handle/doc/7617
Название: | Изучение ядерно-физическими методами металлосодержащих (Ti, Со)-покрытий, осажденных методом ионного ассистирования на кремний |
Авторы: | Бобрович, Олег Георгиевич Ташлыков, Игорь Серафимович Тульев, Валентин Валентинович Барайшук, Сергей Михайлович |
Ключевые слова: | БГПУ ионно-ассистированное нанесение покрытий металлосодержащее (Ti, Со)-покрытие кремний |
Дата публикации: | 2006 |
Серия/номер: | Физика и химия обработки материалов;№ 1, с. 54–58 |
Краткий осмотр (реферат): | Методами резерфордовского обратного рассеяния, резонансной ядерной реакции, масс-спектрометрии ионизованных нейтральных атомов и компьютерного моделирования исследованы композиционный состав и распределение элементов по глубине в Ti/Si и Co/Si структурах, полученных ионно-ассистированным осаждением при облучении собственными ионами. Установлено, что сформированные покрытия содержат атомы осаждаемого металла (2–5 ат.%), водорода (11–20 ат.%), углерода (25–50 ат.%), кислорода (20–30 ат.%) и материала подложки (~10 ат.%). Элементы Н, С, О частично находятся в покрытиях в химически несвязанном состоянии. |
URI (Унифицированный идентификатор ресурса): | http://elib.bspu.by/handle/doc/7617 |
Располагается в коллекциях: | Научные публикации физико-математического факультета |
Файлы этого ресурса:
Файл | Описание | Размер | Формат | |
---|---|---|---|---|
Физ_и хим_обр_мат-2006-1-ТИС.pdf | 2,33 MB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.