Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс: http://elib.bspu.by/handle/doc/7617
Название: Изучение ядерно-физическими методами металлосодержащих (Ti, Со)-покрытий, осажденных методом ионного ассистирования на кремний
Авторы: Бобрович, Олег Георгиевич
Ташлыков, Игорь Серафимович
Тульев, В.В.
Барайшук, Сергей Михайлович
Ключевые слова: БГПУ
ионно-ассистированное нанесение покрытий
металлосодержащее (Ti, Со)-покрытие, кремний
Дата публикации: 2006
Издатель: Физика и химия обработки материалов
Серия/номер: № 1;С. 54–58
Краткий осмотр (реферат): Методами резерфордовского обратного рассеяния, резонансной ядерной реакции, масс-спектрометрии ионизованных нейтральных атомов и компьютерного моделирования исследованы композиционный состав и распределение элементов по глубине в Ti/Si и Co/Si структурах, полученных ионно-ассистированным осаждением при облучении собственными ионами. Установлено, что сформированные покрытия содержат атомы осаждаемого металла (2–5 ат.%), водорода (11–20 ат.%), углерода (25–50 ат.%), кислорода (20-30 ат.%) и материала подложки (~10 ат.%). Элементы Н, С, О частично находятся в покрытиях в химически несвязанном состоянии.
URI (Унифицированный идентификатор ресурса): http://elib.bspu.by/handle/doc/7617
Располагается в коллекциях:Научные публикации физико-математического факультета

Файлы этого ресурса:
Файл Описание РазмерФормат 
Физ_и хим_обр_мат-2006-1-ТИС.pdf2,33 MBAdobe PDFПросмотреть/Открыть


Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.