Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс: http://elib.bspu.by/handle/doc/32087
Название: Локализация атомов Со в облученном ионами ксенона кремнии при ионно-ассистированном нанесении на него тонких Со пленок
Авторы: Михалкович, Олег Михайлович
Ташлыков, Игорь Серафимович
Ключевые слова: БГПУ
кремний
ионно-ассистированное нанесение тонких пленок Со методом ОПАСИ
диффузионные процессы
дефектообразование
Дата публикации: 2012
Серия/номер: XLII международная Тулиновская конференция по физике взаимодействия заряженных частиц с кристаллами. Москва, 29 мая – 31 мая 2012 г.;c. 137
Краткий осмотр (реферат): Изучен процесс массопереноса в кремнии атомов Со покрытия, нанесенного методом ОПАСИ, и влияние предварительной имплантации ксенона в кремний на диффузионные процессы в нем при последующем нанесении покрытий.
URI (Унифицированный идентификатор ресурса): http://elib.bspu.by/handle/doc/32087
Располагается в коллекциях:Научные публикации физико-математического факультета

Файлы этого ресурса:
Файл Описание РазмерФормат 
3-ФВЗЧК-2012-137-МОМ.pdf316,17 kBAdobe PDFПросмотреть/Открыть


Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.