Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс:
http://elib.bspu.by/handle/doc/32087Полная запись метаданных
| Поле DC | Значение | Язык |
|---|---|---|
| dc.contributor.author | Михалкович, Олег Михайлович | - |
| dc.contributor.author | Ташлыков, Игорь Серафимович | - |
| dc.date.accessioned | 2018-03-23T09:43:49Z | - |
| dc.date.available | 2018-03-23T09:43:49Z | - |
| dc.date.issued | 2012 | - |
| dc.identifier.uri | http://elib.bspu.by/handle/doc/32087 | - |
| dc.description.abstract | Изучен процесс массопереноса в кремнии атомов Со покрытия, нанесенного методом ОПАСИ, и влияние предварительной имплантации ксенона в кремний на диффузионные процессы в нем при последующем нанесении покрытий. | ru_RU |
| dc.language.iso | other | ru_RU |
| dc.relation.ispartofseries | XLII международная Тулиновская конференция по физике взаимодействия заряженных частиц с кристаллами. Москва, 29 мая – 31 мая 2012 г.;c. 137 | - |
| dc.subject | БГПУ | ru_RU |
| dc.subject | кремний | ru_RU |
| dc.subject | ионно-ассистированное нанесение тонких пленок Со методом ОПАСИ | ru_RU |
| dc.subject | диффузионные процессы | ru_RU |
| dc.subject | дефектообразование | ru_RU |
| dc.title | Локализация атомов Со в облученном ионами ксенона кремнии при ионно-ассистированном нанесении на него тонких Со пленок | ru_RU |
| dc.type | Working Paper | ru_RU |
| Располагается в коллекциях: | Научные публикации физико-математического факультета | |
Файлы этого ресурса:
| Файл | Описание | Размер | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| 3-ФВЗЧК-2012-137-МОМ.pdf | 316,17 kB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.