Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс: http://elib.bspu.by/handle/doc/31907
Название: Влияние дозы ускоренных ионов Хе+ на повреждение кремния при ионно-ассистированном нанесении Ti покрытий
Авторы: Ташлыков, Игорь Серафимович
Михалкович, Олег Михайлович
Антонович, И. П.
Туровец, А. И.
Ермаков, Ю. А.
Черныш, B. C.
Ключевые слова: БГПУ
ионно-ассистированное нанесение Ti покрытий
облучение ионами Хе+
дефектообразование в кремнии
Дата публикации: 2009
Серия/номер: XXXIX международная конференция по физике взаимодействия заряженных частиц с кристаллами. Москва, 26 мая – 28 мая 2009 г.;c. 127
Краткий осмотр (реферат): Исследовано влияние дозы ускоренных ионов Хе+ на повреждение кремния при ионно-ассистированном нанесении Ti покрытий.
URI (Унифицированный идентификатор ресурса): http://elib.bspu.by/handle/doc/31907
Располагается в коллекциях:Научные публикации физико-математического факультета

Файлы этого ресурса:
Файл Описание РазмерФормат 
3-ФВЗЧК-2009-127-МОМ.pdf419,13 kBAdobe PDFПросмотреть/Открыть


Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.