Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс:
http://elib.bspu.by/handle/doc/31907| Название: | Влияние дозы ускоренных ионов Хе+ на повреждение кремния при ионно-ассистированном нанесении Ti покрытий |
| Авторы: | Ташлыков, Игорь Серафимович Михалкович, Олег Михайлович Антонович, И. П. Туровец, А. И. Ермаков, Ю. А. Черныш, B. C. |
| Ключевые слова: | БГПУ ионно-ассистированное нанесение Ti покрытий облучение ионами Хе+ дефектообразование в кремнии |
| Дата публикации: | 2009 |
| Серия/номер: | XXXIX международная конференция по физике взаимодействия заряженных частиц с кристаллами. Москва, 26 мая – 28 мая 2009 г.;c. 127 |
| Краткий осмотр (реферат): | Исследовано влияние дозы ускоренных ионов Хе+ на повреждение кремния при ионно-ассистированном нанесении Ti покрытий. |
| URI (Унифицированный идентификатор ресурса): | http://elib.bspu.by/handle/doc/31907 |
| Располагается в коллекциях: | Научные публикации физико-математического факультета |
Файлы этого ресурса:
| Файл | Описание | Размер | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| 3-ФВЗЧК-2009-127-МОМ.pdf | 419,13 kB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.