Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс:
http://elib.bspu.by/handle/doc/31907Полная запись метаданных
| Поле DC | Значение | Язык |
|---|---|---|
| dc.contributor.author | Ташлыков, Игорь Серафимович | - |
| dc.contributor.author | Михалкович, Олег Михайлович | - |
| dc.contributor.author | Антонович, И. П. | - |
| dc.contributor.author | Туровец, А. И. | - |
| dc.contributor.author | Ермаков, Ю. А. | - |
| dc.contributor.author | Черныш, B. C. | - |
| dc.date.accessioned | 2018-03-16T13:56:02Z | - |
| dc.date.available | 2018-03-16T13:56:02Z | - |
| dc.date.issued | 2009 | - |
| dc.identifier.uri | http://elib.bspu.by/handle/doc/31907 | - |
| dc.description.abstract | Исследовано влияние дозы ускоренных ионов Хе+ на повреждение кремния при ионно-ассистированном нанесении Ti покрытий. | ru_RU |
| dc.language.iso | other | ru_RU |
| dc.relation.ispartofseries | XXXIX международная конференция по физике взаимодействия заряженных частиц с кристаллами. Москва, 26 мая – 28 мая 2009 г.;c. 127 | - |
| dc.subject | БГПУ | ru_RU |
| dc.subject | ионно-ассистированное нанесение Ti покрытий | ru_RU |
| dc.subject | облучение ионами Хе+ | ru_RU |
| dc.subject | дефектообразование в кремнии | ru_RU |
| dc.title | Влияние дозы ускоренных ионов Хе+ на повреждение кремния при ионно-ассистированном нанесении Ti покрытий | ru_RU |
| dc.type | Working Paper | ru_RU |
| Располагается в коллекциях: | Научные публикации физико-математического факультета | |
Файлы этого ресурса:
| Файл | Описание | Размер | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| 3-ФВЗЧК-2009-127-МОМ.pdf | 419,13 kB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.