Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс:
http://elib.bspu.by/handle/doc/29639| Название: | Повреждение структуры кремния при ионно-ассистированном осаждении покрытий |
| Авторы: | Ташлыков, Игорь Серафимович Барайшук, Сергей Михайлович Михалкович, Олег Михайлович |
| Ключевые слова: | БГПУ кремний ионно-ассистированное осаждение покрытий дефектообразование |
| Дата публикации: | 2007 |
| Серия/номер: | 7-я международная конференция «Взаимодействие излучений с твердым телом». 26–28 сентября 2007 г., Минск;с. 335–337 |
| Краткий осмотр (реферат): | Обсуждаются результаты изучения композиционного состава, повреждения структуры кремния, модифицированного ионно-ассистированным нанесением покрытий в условиях самооблучения. |
| URI (Унифицированный идентификатор ресурса): | http://elib.bspu.by/handle/doc/29639 |
| Располагается в коллекциях: | Научные публикации физико-математического факультета |
Файлы этого ресурса:
| Файл | Описание | Размер | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| 4-ВИТТ2007-335-МОМ.pdf | 601,89 kB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.