Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс: http://elib.bspu.by/handle/doc/29639
Название: Повреждение структуры кремния при ионно-ассистированном осаждении покрытий
Авторы: Ташлыков, Игорь Серафимович
Барайшук, Сергей Михайлович
Михалкович, Олег Михайлович
Ключевые слова: БГПУ
кремний
ионно-ассистированное осаждение покрытий
дефектообразование
Дата публикации: 2007
Серия/номер: 7-я международная конференция «Взаимодействие излучений с твердым телом», 26–28 сентября 2007 г., Минск;с. 335–337
Краткий осмотр (реферат): Обсуждаются результаты изучения композиционного состава, повреждения структуры кремния, модифицированного ионно-ассистированным нанесением покрытий в условиях самооблучения.
URI (Унифицированный идентификатор ресурса): http://elib.bspu.by/handle/doc/29639
Располагается в коллекциях:Научные публикации физико-математического факультета

Файлы этого ресурса:
Файл Описание РазмерФормат 
4-ВИТТ2007-335-МОМ.pdf601,89 kBAdobe PDFПросмотреть/Открыть


Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.