Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс: http://elib.bspu.by/handle/doc/29639
Полная запись метаданных
Поле DCЗначениеЯзык
dc.contributor.authorТашлыков, Игорь Серафимович-
dc.contributor.authorБарайшук, Сергей Михайлович-
dc.contributor.authorМихалкович, Олег Михайлович-
dc.date.accessioned2018-01-12T13:24:10Z-
dc.date.available2018-01-12T13:24:10Z-
dc.date.issued2007-
dc.identifier.urihttp://elib.bspu.by/handle/doc/29639-
dc.description.abstractОбсуждаются результаты изучения композиционного состава, повреждения структуры кремния, модифицированного ионно-ассистированным нанесением покрытий в условиях самооблучения.ru_RU
dc.language.isootherru_RU
dc.relation.ispartofseries7-я международная конференция «Взаимодействие излучений с твердым телом», 26–28 сентября 2007 г., Минск;с. 335–337-
dc.subjectБГПУru_RU
dc.subjectкремнийru_RU
dc.subjectионно-ассистированное осаждение покрытийru_RU
dc.subjectдефектообразованиеru_RU
dc.titleПовреждение структуры кремния при ионно-ассистированном осаждении покрытийru_RU
dc.typeArticleru_RU
Располагается в коллекциях:Научные публикации физико-математического факультета

Файлы этого ресурса:
Файл Описание РазмерФормат 
4-ВИТТ2007-335-МОМ.pdf601,89 kBAdobe PDFПросмотреть/Открыть


Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.