Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс:
http://elib.bspu.by/handle/doc/29639
Полная запись метаданных
Поле DC | Значение | Язык |
---|---|---|
dc.contributor.author | Ташлыков, Игорь Серафимович | - |
dc.contributor.author | Барайшук, Сергей Михайлович | - |
dc.contributor.author | Михалкович, Олег Михайлович | - |
dc.date.accessioned | 2018-01-12T13:24:10Z | - |
dc.date.available | 2018-01-12T13:24:10Z | - |
dc.date.issued | 2007 | - |
dc.identifier.uri | http://elib.bspu.by/handle/doc/29639 | - |
dc.description.abstract | Обсуждаются результаты изучения композиционного состава, повреждения структуры кремния, модифицированного ионно-ассистированным нанесением покрытий в условиях самооблучения. | ru_RU |
dc.language.iso | other | ru_RU |
dc.relation.ispartofseries | 7-я международная конференция «Взаимодействие излучений с твердым телом». 26–28 сентября 2007 г., Минск;с. 335–337 | - |
dc.subject | БГПУ | ru_RU |
dc.subject | кремний | ru_RU |
dc.subject | ионно-ассистированное осаждение покрытий | ru_RU |
dc.subject | дефектообразование | ru_RU |
dc.title | Повреждение структуры кремния при ионно-ассистированном осаждении покрытий | ru_RU |
dc.type | Article | ru_RU |
Располагается в коллекциях: | Научные публикации физико-математического факультета |
Файлы этого ресурса:
Файл | Описание | Размер | Формат | |
---|---|---|---|---|
4-ВИТТ2007-335-МОМ.pdf | 601,89 kB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.