Повреждение поверхности кремния при ионно-ассистированном осаждении Ti и Со покрытий
Loading...
Date
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
Publisher
Abstract
Изучено образование дефектов поверхности кремния при ионно-ассистированном осаждении Ti и Со покрытий.
Description
Keywords
БГПУ, кремний, ионно-ассистированное осаждение Ti и Со покрытий