Повреждение поверхности кремния при ионно-ассистированном осаждении Ti и Со покрытий
| dc.contributor.author | Ташлыков, Игорь Серафимович | |
| dc.contributor.author | Михалкович, Олег Михайлович | |
| dc.date.accessioned | 2018-03-16T13:51:13Z | |
| dc.date.available | 2018-03-16T13:51:13Z | |
| dc.date.issued | 2008 | |
| dc.description.abstract | Изучено образование дефектов поверхности кремния при ионно-ассистированном осаждении Ti и Со покрытий. | ru_RU |
| dc.identifier.uri | http://elib.bspu.by/handle/doc/31906 | |
| dc.language.iso | other | ru_RU |
| dc.relation.ispartofseries | XXXVIII международная конференция по физике взаимодействия заряженных частиц с кристаллами. Москва, 27 мая – 29 мая 2008 г.;c. 146 | |
| dc.subject | БГПУ | ru_RU |
| dc.subject | кремний | ru_RU |
| dc.subject | ионно-ассистированное осаждение Ti и Со покрытий | ru_RU |
| dc.title | Повреждение поверхности кремния при ионно-ассистированном осаждении Ti и Со покрытий | ru_RU |
| dc.type | Working Paper | ru_RU |