Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс:
http://elib.bspu.by/handle/doc/31906| Название: | Повреждение поверхности кремния при ионно-ассистированном осаждении Ti и Со покрытий |
| Авторы: | Ташлыков, Игорь Серафимович Михалкович, Олег Михайлович |
| Ключевые слова: | БГПУ кремний ионно-ассистированное осаждение Ti и Со покрытий |
| Дата публикации: | 2008 |
| Серия/номер: | XXXVIII международная конференция по физике взаимодействия заряженных частиц с кристаллами. Москва, 27 мая – 29 мая 2008 г.;c. 146 |
| Краткий осмотр (реферат): | Изучено образование дефектов поверхности кремния при ионно-ассистированном осаждении Ti и Со покрытий. |
| URI (Унифицированный идентификатор ресурса): | http://elib.bspu.by/handle/doc/31906 |
| Располагается в коллекциях: | Научные публикации физико-математического факультета |
Файлы этого ресурса:
| Файл | Описание | Размер | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| 3-ФВЗЧК-2008-146-МОМ.pdf | 410,86 kB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.