Состав и морфология покрытий (Ti, W), осажденных на кремний при ионном ассистировании

Abstract

Изучен состав и морфология покрытий (Ti, W), осажденных на кремний при ионном ассистировании.

Description

Keywords

БГПУ, Si, Ti, W, ионно-ассистированное нанесение покрытий, структура покрытия, топография поверхности

Citation

Endorsement

Review

Supplemented By

Referenced By