Состав и морфология покрытий (Ti, W), осажденных на кремний при ионном ассистировании
| dc.contributor.author | Бобрович, Олег Георгиевич | |
| dc.contributor.author | Михалкович, Олег Михайлович | |
| dc.contributor.author | Ташлыков, Игорь Серафимович | |
| dc.date.accessioned | 2018-03-23T09:55:30Z | |
| dc.date.available | 2018-03-23T09:55:30Z | |
| dc.date.issued | 2013 | |
| dc.description.abstract | Изучен состав и морфология покрытий (Ti, W), осажденных на кремний при ионном ассистировании. | ru_RU |
| dc.identifier.uri | http://elib.bspu.by/handle/doc/32090 | |
| dc.language.iso | other | ru_RU |
| dc.relation.ispartofseries | XLIII международная Тулиновская конференция по физике взаимодействия заряженных частиц с кристаллами. Москва, 28 мая – 30 мая 2013 г.;с. 106 | |
| dc.subject | БГПУ | ru_RU |
| dc.subject | Si | ru_RU |
| dc.subject | Ti | ru_RU |
| dc.subject | W | ru_RU |
| dc.subject | ионно-ассистированное нанесение покрытий | ru_RU |
| dc.subject | структура покрытия | ru_RU |
| dc.subject | топография поверхности | ru_RU |
| dc.title | Состав и морфология покрытий (Ti, W), осажденных на кремний при ионном ассистировании | ru_RU |
| dc.type | Working Paper | ru_RU |