Состав и морфология покрытий (Ti, W), осажденных на кремний при ионном ассистировании
Loading...
Date
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
Publisher
Abstract
Изучен состав и морфология покрытий (Ti, W), осажденных на кремний при ионном ассистировании.
Description
Keywords
БГПУ, Si, Ti, W, ионно-ассистированное нанесение покрытий, структура покрытия, топография поверхности