Исследование слоев кремния, имплантированных стехиометрическими дозами ионов углерода
Loading...
Date
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
Publisher
Abstract
Изучены вопросы влияния условий легирования на синтез карбида кремния, количественного состава имплантированных слоев, их размеров и некоторые другие.
Description
Keywords
БГПУ, кремний, ион углерода, ионная имплантация, легирование