Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс:
http://elib.bspu.by/handle/doc/9235| Название: | Исследование слоев кремния, имплантированных стехиометрическими дозами ионов углерода |
| Авторы: | Белый, И. М. Гуманский, Г. А. Соловьев, В. С. Ташлыков, Игорь Серафимович Тишков, В. С. Гетц, Г. Хель, К. Швабе, Ф. |
| Ключевые слова: | БГПУ кремний ион углерода ионная имплантация легирование |
| Дата публикации: | 1975 |
| Серия/номер: | International conference on ion implantation in semiconductors. 1975, Budapest;pp. 462–471 |
| Краткий осмотр (реферат): | Изучены вопросы влияния условий легирования на синтез карбида кремния, количественного состава имплантированных слоев, их размеров и некоторые другие. |
| URI (Унифицированный идентификатор ресурса): | http://elib.bspu.by/handle/doc/9235 |
| Располагается в коллекциях: | Научные публикации физико-математического факультета |
Файлы этого ресурса:
| Файл | Описание | Размер | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| 6-32-Konf-Budapest-1975(462-471).pdf | 822,67 kB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.