Исследование слоев кремния, имплантированных стехиометрическими дозами ионов углерода
| dc.contributor.author | Белый, И. М. | |
| dc.contributor.author | Гуманский, Г. А. | |
| dc.contributor.author | Соловьев, В. С. | |
| dc.contributor.author | Ташлыков, Игорь Серафимович | |
| dc.contributor.author | Тишков, В. С. | |
| dc.contributor.author | Гетц, Г. | |
| dc.contributor.author | Хель, К. | |
| dc.contributor.author | Швабе, Ф. | |
| dc.date.accessioned | 2016-01-21T13:44:42Z | |
| dc.date.available | 2016-01-21T13:44:42Z | |
| dc.date.issued | 1975 | |
| dc.description.abstract | Изучены вопросы влияния условий легирования на синтез карбида кремния, количественного состава имплантированных слоев, их размеров и некоторые другие. | ru_RU |
| dc.identifier.uri | http://elib.bspu.by/handle/doc/9235 | |
| dc.language.iso | other | ru_RU |
| dc.relation.ispartofseries | International conference on ion implantation in semiconductors. 1975, Budapest;pp. 462–471 | |
| dc.subject | БГПУ | ru_RU |
| dc.subject | кремний | ru_RU |
| dc.subject | ион углерода | ru_RU |
| dc.subject | ионная имплантация | ru_RU |
| dc.subject | легирование | ru_RU |
| dc.title | Исследование слоев кремния, имплантированных стехиометрическими дозами ионов углерода | ru_RU |
| dc.type | Article | ru_RU |