Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс:
http://elib.bspu.by/handle/doc/9231| Название: | Исследование процессов высокотемпературного внедрения ионов углерода в кремний |
| Авторы: | Гуманский, Г. А. Комаров, Ф. Ф. Ташлыков, Игорь Серафимович Тишков, В. С. |
| Ключевые слова: | БГПУ кремний ион углерода дефектообразование высокая температура ионная имплантация |
| Дата публикации: | 1978 |
| Серия/номер: | Сборник докладов Международной конференции по ионной имплантации в полупроводниках. Райнхардсбрунн, ГДР. 23–29 октября 1977 г.;т. 1, с. 15–24 |
| Краткий осмотр (реферат): | Темой работы было изучение образования дефектов, распределения их по глубине кристалла, а также выяснение пространственного распределения внедренных атомов углерода; изучение структурных превращений при высокотемпературной имплантации ионов С+ в кристаллы кремния. Исследования выполнялись методом обратного рассеяния ускоренных ионов Не+ и дифракции электронов на отражение. |
| URI (Унифицированный идентификатор ресурса): | http://elib.bspu.by/handle/doc/9231 |
| Располагается в коллекциях: | Научные публикации физико-математического факультета |
Файлы этого ресурса:
| Файл | Описание | Размер | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| 6-28-Konf-GDR-oct_1977.pdf | 937,75 kB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.