Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс: http://elib.bspu.by/handle/doc/9231
Название: Исследование процессов высокотемпературного внедрения ионов углерода в кремний
Авторы: Гуманский, Г.А.
Комаров, Ф.Ф.
Ташлыков, Игорь Серафимович
Тишков, B.C.
Ключевые слова: БГПУ
кремний
ион углерода
дефектообразование
высокая температура
ионная имплантация
Дата публикации: 1978
Издатель: Международная конференция по ионной имплантации в полупроводниках. ГДР, Райнхардсбрунн. 23–29 окт. 1977 г.
Серия/номер: Сборник докладов;т. 1, с. 15–24
Краткий осмотр (реферат): Темой работы было изучение образования дефектов, распределения их по глубине кристалла, а также выяснение пространственного распределения внедренных атомов углерода; изучение структурных превращений при высокотемпературной имплантации ионов С+ в кристаллы кремния. Исследования выполнялись методом обратного рассеяния ускоренных ионов Не+ и дифракции электронов на отражение.
URI (Унифицированный идентификатор ресурса): http://elib.bspu.by/handle/doc/9231
Располагается в коллекциях:Научные публикации физико-математического факультета

Файлы этого ресурса:
Файл Описание РазмерФормат 
6-28-Konf-GDR-oct_1977.pdf937,75 kBAdobe PDFПросмотреть/Открыть


Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.