Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс:
http://elib.bspu.by/handle/doc/9229| Название: | Радиационное повреждение и распределение внедренной примеси в арсениде галлия при имплантации ионов фосфора |
| Авторы: | Белый, И. М. Комаров, Ф. Ф. Ташлыков, Игорь Серафимович |
| Ключевые слова: | БГПУ дефектообразование арсенид галлия ион фосфора ионная имплантация |
| Дата публикации: | 1980 |
| Издатель: | Издательство Московского университета |
| Серия/номер: | Труды VII Международной конференции по атомным столкновениям в твердых телах. Москва, 19–23 сентября 1977 г.;т. 2, с. 287–290 |
| Краткий осмотр (реферат): | В работе представлены основные результаты исследований образования дефектов в имплантированном ионами Р+ арсениде галлия в зависимости от интегрального потока и энергии ионов, температуры и ориентации кристаллов в процессе имплантации. Изучено также влияние названных параметров на распределение внедренного фосфора. |
| URI (Унифицированный идентификатор ресурса): | http://elib.bspu.by/handle/doc/9229 |
| Располагается в коллекциях: | Научные публикации физико-математического факультета |
Файлы этого ресурса:
| Файл | Описание | Размер | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| 6-26-ТРУДЫ(конф-Москва-1977).pdf | 797,87 kB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.