Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс: http://elib.bspu.by/handle/doc/9229
Название: Радиационное повреждение и распределение внедренной примеси в арсениде галлия при имплантации ионов фосфора
Авторы: Белый, И.М.
Комаров, Ф.Ф.
Ташлыков, Игорь Серафимович
Ключевые слова: БГПУ
дефектообразование
арсенид галлия
ион фосфора
ионная имплантация
Дата публикации: 1980
Издатель: Изд-во Моск. ун-та
Серия/номер: Труды VII Международной конференции по атомным столкновениям в твердых телах. Москва, 19–23 сентября 1977 года;т. 2, с. 287–290
Краткий осмотр (реферат): В работе представлены основные результаты исследований образования дефектов в имплантированном ионами Р+ арсениде галлия в зависимости от интегрального потока и энергии ионов, температуры и ориентации кристаллов в процессе имплантации. Изучено также влияние названных параметров на распределение внедренного фосфора.
URI (Унифицированный идентификатор ресурса): http://elib.bspu.by/handle/doc/9229
Располагается в коллекциях:Научные публикации физико-математического факультета

Файлы этого ресурса:
Файл Описание РазмерФормат 
6-26-ТРУДЫ(конф-Москва-1977).pdf797,87 kBAdobe PDFПросмотреть/Открыть


Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.