Радиационное повреждение и распределение внедренной примеси в арсениде галлия при имплантации ионов фосфора
| dc.contributor.author | Белый, И. М. | |
| dc.contributor.author | Комаров, Ф. Ф. | |
| dc.contributor.author | Ташлыков, Игорь Серафимович | |
| dc.date.accessioned | 2016-01-21T12:54:47Z | |
| dc.date.available | 2016-01-21T12:54:47Z | |
| dc.date.issued | 1980 | |
| dc.description.abstract | В работе представлены основные результаты исследований образования дефектов в имплантированном ионами Р+ арсениде галлия в зависимости от интегрального потока и энергии ионов, температуры и ориентации кристаллов в процессе имплантации. Изучено также влияние названных параметров на распределение внедренного фосфора. | ru_RU |
| dc.identifier.uri | http://elib.bspu.by/handle/doc/9229 | |
| dc.language.iso | other | ru_RU |
| dc.publisher | Издательство Московского университета | ru_RU |
| dc.relation.ispartofseries | Труды VII Международной конференции по атомным столкновениям в твердых телах. Москва, 19–23 сентября 1977 г.;т. 2, с. 287–290 | |
| dc.subject | БГПУ | ru_RU |
| dc.subject | дефектообразование | ru_RU |
| dc.subject | арсенид галлия | ru_RU |
| dc.subject | ион фосфора | ru_RU |
| dc.subject | ионная имплантация | ru_RU |
| dc.title | Радиационное повреждение и распределение внедренной примеси в арсениде галлия при имплантации ионов фосфора | ru_RU |
| dc.type | Article | ru_RU |