О роли природы примеси в повреждении GaAs, имплантированном ионами Al+ и P+
Loading...
Date
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
Publisher
Abstract
Результаты настоящего исследования показывают, что влияние природы внедряемой примеси на торможение процессов отжига дефектов в GaAs, имплантированном Al+ и P+, эффективно даже при малых (в максимуме распределения N(P,Al)=0,2 ат %) количествах внедренной примеси.
Description
Keywords
БГПУ, арсенид галлия, имплантация ионами, алюминий, фосфор, внедряемая примесь