Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс: http://elib.bspu.by/handle/doc/7618
Название: Ионно-ассистируемое осаждение тонких пленок на основе С, Ti, Zr, Мо на кремний
Авторы: Ташлыков, Игорь Серафимович
Веш, В.
Вендлер, Э.
Ключевые слова: БГПУ
тонкая пленка
кремний
ионно-ассистируемое осаждение
Дата публикации: 2004
Издатель: Физика и химия обработки материалов
Серия/номер: № 3;С. 30–33
Краткий осмотр (реферат): Методами POP/каналирования и компьютерного моделирования спектров рассеяния исследованы покрытия на основе С, Ti, Zr и Мо, нанесенные на Si подложку методом ионно-ассистируемого осаждения. Установлено, что в состав покрытий входят атомы материала подложки (Si), а также кислород, углерод и водород. Радиационное повреждение кремния вблизи межфазной границы практически не зависит от массы бомбардирующих ионов.
URI (Унифицированный идентификатор ресурса): http://elib.bspu.by/handle/doc/7618
Располагается в коллекциях:Научные публикации физико-математического факультета

Файлы этого ресурса:
Файл Описание РазмерФормат 
Физ_и хим_обр_мат_2004-3-ТИС.pdf2,08 MBAdobe PDFПросмотреть/Открыть


Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.