Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс:
http://elib.bspu.by/handle/doc/7618| Название: | Ионно-ассистируемое осаждение тонких пленок на основе С, Ti, Zr, Мо на кремний |
| Авторы: | Ташлыков, Игорь Серафимович Веш, В. Вендлер, Э. |
| Ключевые слова: | БГПУ тонкая пленка кремний ионно-ассистируемое осаждение |
| Дата публикации: | 2004 |
| Серия/номер: | Физика и химия обработки материалов;№ 3, с. 30–33 |
| Краткий осмотр (реферат): | Методами POP/каналирования и компьютерного моделирования спектров рассеяния исследованы покрытия на основе С, Ti, Zr и Мо, нанесенные на Si подложку методом ионно-ассистируемого осаждения. Установлено, что в состав покрытий входят атомы материала подложки (Si), а также кислород, углерод и водород. Радиационное повреждение кремния вблизи межфазной границы практически не зависит от массы бомбардирующих ионов. |
| URI (Унифицированный идентификатор ресурса): | http://elib.bspu.by/handle/doc/7618 |
| Располагается в коллекциях: | Научные публикации физико-математического факультета |
Файлы этого ресурса:
| Файл | Описание | Размер | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| Физ_и хим_обр_мат_2004-3-ТИС.pdf | 2,08 MB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.