Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс: http://elib.bspu.by/handle/doc/7386
Название: Структура и состав покрытий на основе Zr, осажденных на кремний при ионном ассистировании в условиях саморадиации
Авторы: Бобрович, Олег Георгиевич
Ташлыков, Игорь Серафимович
Ключевые слова: БГПУ
тонкая пленка
ионно-ассистированное нанесение покрытий
метод ИАНПУС
кремний
Дата публикации: 2002
Издатель: Физика и химия обработки материалов. № 5
Серия/номер: ;С. 40–43
Краткий осмотр (реферат): Методами POP, ПЭМ, ЭДРА и МСВИ исследованы структура и состав покрытий на основе Zr, сформированных в условиях ассистирования осаждения циркония на кремний облучением ионами Zr+ с энергией 5 и 10 кэВ. Установлено, что состав покрытий однороден по толщине. Вблизи границы раздела покрытие – подложка существуют аморфные области и нанокристаллиты Zr размером до ~10 нм. Элементный анализ покрытий показал присутствие в осажденном покрытии кислорода, углерода и кремния.
URI (Унифицированный идентификатор ресурса): http://elib.bspu.by/handle/doc/7386
Располагается в коллекциях:Научные публикации физико-математического факультета

Файлы этого ресурса:
Файл Описание РазмерФормат 
Физ_и хим_обр_мат-2002-5-ТИС.pdf1,65 MBAdobe PDFПросмотреть/Открыть


Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.