Структура и состав покрытий на основе Zr, осажденных на кремний при ионном ассистировании в условиях саморадиации

Abstract

Методами POP, ПЭМ, ЭДРА и МСВИ исследованы структура и состав покрытий на основе Zr, сформированных в условиях ассистирования осаждения циркония на кремний облучением ионами Zr+ с энергией 5 и 10 кэВ. Установлено, что состав покрытий однороден по толщине. Вблизи границы раздела покрытие – подложка существуют аморфные области и нанокристаллиты Zr размером до ~10 нм. Элементный анализ покрытий показал присутствие в осажденном покрытии кислорода, углерода и кремния.