Структура и состав покрытий на основе Zr, осажденных на кремний при ионном ассистировании в условиях саморадиации
| dc.contributor.author | Бобрович, Олег Георгиевич | |
| dc.contributor.author | Ташлыков, Игорь Серафимович | |
| dc.date.accessioned | 2015-11-09T10:51:44Z | |
| dc.date.available | 2015-11-09T10:51:44Z | |
| dc.date.issued | 2002 | |
| dc.description.abstract | Методами POP, ПЭМ, ЭДРА и МСВИ исследованы структура и состав покрытий на основе Zr, сформированных в условиях ассистирования осаждения циркония на кремний облучением ионами Zr+ с энергией 5 и 10 кэВ. Установлено, что состав покрытий однороден по толщине. Вблизи границы раздела покрытие – подложка существуют аморфные области и нанокристаллиты Zr размером до ~10 нм. Элементный анализ покрытий показал присутствие в осажденном покрытии кислорода, углерода и кремния. | ru_RU |
| dc.identifier.uri | http://elib.bspu.by/handle/doc/7386 | |
| dc.language.iso | other | ru_RU |
| dc.relation.ispartofseries | Физика и химия обработки материалов;№ 5, с. 40–43 | |
| dc.subject | БГПУ | ru_RU |
| dc.subject | тонкая пленка | ru_RU |
| dc.subject | ионно-ассистированное нанесение покрытий | ru_RU |
| dc.subject | метод ИАНПУС | ru_RU |
| dc.subject | кремний | ru_RU |
| dc.title | Структура и состав покрытий на основе Zr, осажденных на кремний при ионном ассистировании в условиях саморадиации | ru_RU |
| dc.type | Article | ru_RU |