Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс:
http://elib.bspu.by/handle/doc/7384| Название: | Изучение границы раздела фаз в структуре Ti – Si с применением Хе маркера |
| Авторы: | Бобрович, Олег Георгиевич Ташлыков, Игорь Серафимович Глухатаренко, Т. И. |
| Ключевые слова: | БГПУ ионно-ассистированное нанесение покрытий метод ИАНПУС маркер ксенон покрытие Ti – Si |
| Дата публикации: | 2005 |
| Издатель: | БГТУ, Минск |
| Серия/номер: | Труды Белорусского государственного технологического университета. Сер. VI. Физико-математические науки и информатика;вып. VIII, с. 90–92 |
| Краткий осмотр (реферат): | Разработана новая методика введения маркера в подложку предварительной ионной имплантацией ксенона для определения границы раздела фаз покрытие – подложка. Данная методика в сочетании с резерфордовским обратным рассеянием ионов гелия позволила установить реальную границу, точность которой определяется страгглингом пробега (±5,7 нм) ионов ксенона в кремнии, между металлсодержащим покрытием и кремниевой подложкой и выявить процессы взаимопроникновения элементов покрытия вглубь подложки и встречной диффузии элементов подложки в покрытие. |
| URI (Унифицированный идентификатор ресурса): | http://elib.bspu.by/handle/doc/7384 |
| Располагается в коллекциях: | Научные публикации физико-математического факультета |
Файлы этого ресурса:
| Файл | Описание | Размер | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| Труды_БГТУ.pdf | 2,01 MB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.