Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс: http://elib.bspu.by/handle/doc/7384
Название: Изучение границы раздела фаз в структуре Ti – Si с применением Хе маркера
Авторы: Бобрович, Олег Георгиевич
Ташлыков, Игорь Серафимович
Глухатаренко, Т.И.
Ключевые слова: БГПУ
ионно-ассистированное нанесение покрытий
метод ИАНПУС
маркер ксенон
покрытие Ti – Si
Дата публикации: 2005
Издатель: Минск: Труды Белорусского государственного технологического университета. Сер. VI. Физико-математические науки и информатика. Вып. VIII
Серия/номер: ;90–92
Краткий осмотр (реферат): Разработана новая методика введения маркера в подложку предварительной ионной имплантацией ксенона для определения границы раздела фаз покрытие – подложка. Данная методика в сочетании с резерфордовским обратным рассеянием ионов гелия позволила установить реальную границу, точность которой определяется страгглингом пробега (±5,7 нм) ионов ксенона в кремнии, между металлсодержащим покрытием и кремниевой подложкой и выявить процессы взаимопроникновения элементов покрытия в глубь подложки и встречной диффузии элементов подложки в покрытие.
URI (Унифицированный идентификатор ресурса): http://elib.bspu.by/handle/doc/7384
Располагается в коллекциях:Научные публикации физико-математического факультета

Файлы этого ресурса:
Файл Описание РазмерФормат 
Труды_БГТУ.pdf2,01 MBAdobe PDFПросмотреть/Открыть


Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.