Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс: http://elib.bspu.by/handle/doc/5171
Название: Состав и морфология покрытий Ti, W, осажденных на кремний при ионном ассистировании.
Авторы: Бобрович, Олег Георгиевич
Михалкович, Олег Михайлович
Ташлыков, Игорь Серафимович
Ключевые слова: кремний
титановые и вольфрамовые покрытия
элементный состав
структура поверхности
Дата публикации: 2014
Издатель: ФизХОМ
Серия/номер: ;№1, с. 31-36.
Краткий осмотр (реферат): В данной работе с использованием методов РОР, ПЭМ, ПЭД, растровой электронной и сканирующей зондовой микроскопии установлены состав и структура металлических (Ti, W) покрытий, осажденных на (111)Si в условиях ионного (Ti+, W+) ассистирования. Обнаружено, что осажденные Ti покрытия на подложке (111)Si имеют слой силицидов (TiSi, TiSi2) и слой, содержащий карбиды и оксиды (TiC, TiO2). При осаждении W покрытия на подложке (111)Si формируется слой, содержащий области скопления силицидов (W3Si, W5Si3, WSi2) и оксида WO2. Модифицирование (111)Si осаждением металлических покрытий в условиях ионного ассистирования приводит также к аморфизации поверхностного слоя кремниевой подложки. Толщина покрытия увеличивается с уменьшением ускоряющего напряжения для ассистирующих ионов Ti+, W+ от 15 кВ до 5 кВ.
URI (Унифицированный идентификатор ресурса): http://elib.bspu.by/handle/doc/5171
Располагается в коллекциях:Научные публикации физико-математического факультета

Файлы этого ресурса:
Файл Описание РазмерФормат 
БобрТашМих2014ФизХОМ.pdf1,75 MBAdobe PDFПросмотреть/Открыть


Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.