Состав и морфология покрытий Ti, W, осажденных на кремний при ионном ассистировании
| dc.contributor.author | Бобрович, Олег Георгиевич | |
| dc.contributor.author | Михалкович, Олег Михайлович | |
| dc.contributor.author | Ташлыков, Игорь Серафимович | |
| dc.date.accessioned | 2015-06-05T09:03:25Z | |
| dc.date.available | 2015-06-05T09:03:25Z | |
| dc.date.issued | 2014 | |
| dc.description.abstract | С использованием методов РОР, ПЭМ, ПЭД, растровой электронной и сканирующей зондовой микроскопии установлены состав и структура металлических (Ti, W) покрытий, осажденных на (111)Si в условиях ионного (Ti+, W+) ассистирования. Обнаружено, что осажденные Ti покрытия на подложке (111)Si имеют слой силицидов (TiSi, TiSi2) и слой, содержащий карбиды и оксиды (TiC, TiO2). При осаждении W покрытия на подложке (111)Si формируется слой, содержащий области скопления силицидов (W3Si, W5Si3, WSi2) и оксида WO2. Модифицирование (111)Si осаждением металлических покрытий в условиях ионного ассистирования приводит также к аморфизации поверхностного слоя кремниевой подложки. Толщина покрытия увеличивается с уменьшением ускоряющего напряжения для ассистирующих ионов Ti+, W+ от 15 кВ до 5 кВ. | ru_RU |
| dc.identifier.uri | http://elib.bspu.by/handle/doc/5171 | |
| dc.language.iso | other | ru_RU |
| dc.relation.ispartofseries | Физика и химия обработки материалов;№ 1, с. 31-36 | |
| dc.subject | кремний | ru_RU |
| dc.subject | титановые и вольфрамовые покрытия | ru_RU |
| dc.subject | элементный состав | ru_RU |
| dc.subject | структура поверхности | ru_RU |
| dc.subject | БГПУ | |
| dc.title | Состав и морфология покрытий Ti, W, осажденных на кремний при ионном ассистировании | ru_RU |
| dc.type | Article | ru_RU |