Влияние ионно-лучевой обработки на нанотвердость и смачиваемость поверхности кремния
Loading...
Date
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
Publisher
БГПУ
Abstract
Description
Влияние ионно-лучевой обработки на нанотвердость и смачиваемость поверхности кремния [Текст]: отчет о НИР (заключит.): /БГПУ; рук. Барайшук С.М.; исполн.: О.М. Михалкович, Д.А. Сильванович.- Мн., 2013. - 56 с., 21 ил., 8 табл. - Библиогр.: С 50-56 (52 назв.). - № ГР 20112860.
Keywords
ионно-ассистированное нанесение покрытий, металлсодержащее покрытие, кремний, толщина покрытия, концентрация элементов, распределение дефектов, издания БГПУ, смачиваемость, твердость поверхности