Влияние ионно-лучевой обработки на нанотвердость и смачиваемость поверхности кремния
| dc.contributor.author | Барайшук, Сергей Михайлович | |
| dc.contributor.author | Михалкович, Олег Михайлович | |
| dc.contributor.author | Сильванович, Дмитрий Александрович | |
| dc.date.accessioned | 2015-06-04T13:27:01Z | |
| dc.date.available | 2015-06-04T13:27:01Z | |
| dc.date.issued | 2013 | |
| dc.description | Влияние ионно-лучевой обработки на нанотвердость и смачиваемость поверхности кремния [Текст]: отчет о НИР (заключит.): /БГПУ; рук. Барайшук С.М.; исполн.: О.М. Михалкович, Д.А. Сильванович.- Мн., 2013. - 56 с., 21 ил., 8 табл. - Библиогр.: С 50-56 (52 назв.). - № ГР 20112860. | ru_RU |
| dc.identifier.uri | http://elib.bspu.by/handle/doc/5117 | |
| dc.language.iso | other | ru_RU |
| dc.publisher | БГПУ | ru_RU |
| dc.subject | ионно-ассистированное нанесение покрытий | ru_RU |
| dc.subject | металлсодержащее покрытие | ru_RU |
| dc.subject | кремний | ru_RU |
| dc.subject | толщина покрытия | ru_RU |
| dc.subject | концентрация элементов | ru_RU |
| dc.subject | распределение дефектов | ru_RU |
| dc.subject | издания БГПУ | ru_RU |
| dc.subject | смачиваемость | ru_RU |
| dc.subject | твердость поверхности | ru_RU |
| dc.title | Влияние ионно-лучевой обработки на нанотвердость и смачиваемость поверхности кремния | ru_RU |
| dc.title.alternative | Отчет о НИР | ru_RU |
| dc.type | Other | ru_RU |