Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс: http://elib.bspu.by/handle/doc/47942
Название: Состав и нанотвёрдость покрытий на Si,полученных методом ионно-ассистированного осаждения
Авторы: Ташлыков, Игорь Серафимович
Барайшук, Сергей Михайлович
Тульев, Валентин Валентинович
Гременок, В. Ф.
Ключевые слова: БГПУ
кремний
покрытия
элементный состав
нанотвёрдость
Дата публикации: 2011
Серия/номер: Физика и химия обработки материалов;№ 1. -С. 66-70
Краткий осмотр (реферат): Методом резерфордовского обратного рассеяния с компьютерным моделированием эксперементальных спектров исследован композиционный состав покрытий C,Ti,Zr и Мо на Si,полученных методом ионно-ассистированного осаждения
URI (Унифицированный идентификатор ресурса): http://elib.bspu.by/handle/doc/47942
Располагается в коллекциях:Научные публикации физико-математического факультета

Файлы этого ресурса:
Файл Описание РазмерФормат 
состав и нанотвердость покрытий.pdf208,25 kBAdobe PDFПросмотреть/Открыть


Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.