Применение метода атомно-силовой микроскопии для исследования морфологии поверхности тонких плёнок,сформированных методом ионно-ассистированного осаждения
Loading...
Date
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
Publisher
Abstract
В работе представлены результаты исследования топографии поверхности тонких плёнок,сформированных ионно-ассистированным осаждением на стеклянных подложках
Description
Keywords
БГПУ, морфология, шероховатость, тонкие плёнки, ионно-ассистированное осаждение