Применение метода атомно-силовой микроскопии для исследования морфологии поверхности тонких плёнок,сформированных методом ионно-ассистированного осаждения
| dc.contributor.author | Ташлыков, Игорь Серафимович | |
| dc.contributor.author | Яковенко, Юлия Сергеевна | |
| dc.contributor.author | Байрашук, С. М. | |
| dc.contributor.author | Ташлыкова-Бушкевич, Ия Игоревна | |
| dc.contributor.author | Михалкович, Олег Михайлович | |
| dc.date.accessioned | 2020-05-29T08:30:50Z | |
| dc.date.available | 2020-05-29T08:30:50Z | |
| dc.date.issued | 2016 | |
| dc.description.abstract | В работе представлены результаты исследования топографии поверхности тонких плёнок,сформированных ионно-ассистированным осаждением на стеклянных подложках | ru_RU |
| dc.identifier.uri | http://elib.bspu.by/handle/doc/47941 | |
| dc.language.iso | other | ru_RU |
| dc.relation.ispartofseries | Методологические аспекты сканирующей зондовой микроскопии .Сборник докладов XII Международной конференции;С. 94-98 | |
| dc.subject | БГПУ | ru_RU |
| dc.subject | морфология | ru_RU |
| dc.subject | шероховатость | ru_RU |
| dc.subject | тонкие плёнки | ru_RU |
| dc.subject | ионно-ассистированное осаждение | ru_RU |
| dc.title | Применение метода атомно-силовой микроскопии для исследования морфологии поверхности тонких плёнок,сформированных методом ионно-ассистированного осаждения | ru_RU |
| dc.type | Article | ru_RU |