Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс: http://elib.bspu.by/handle/doc/47937
Название: Композиционный состав и повреждение кремния при нанесении (Co,Zr,W)покрытий в условиях ионного ассистирования
Авторы: Ташлыков, Игорь Серафимович
Бобрович, Олег Георгиевич
Ключевые слова: БГПУ
кремний
элементный состав
структура поверхности
Дата публикации: 2015
Серия/номер: Труды БГТУ. Физико-математические науки и информатика;№ 6. -С. 78-82
Краткий осмотр (реферат): Представлено распределение элементов в покрытии нанесенном на пластины Si при комнатной температуре ,а также дефектообразования в кристаллах кремния при нанесении металлического покрытия в условиях ионного ассистирования
URI (Унифицированный идентификатор ресурса): http://elib.bspu.by/handle/doc/47937
Располагается в коллекциях:Научные публикации физико-математического факультета

Файлы этого ресурса:
Файл Описание РазмерФормат 
композиционный состав и повреждение кремния.pdf418,77 kBAdobe PDFПросмотреть/Открыть


Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.