Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс:
http://elib.bspu.by/handle/doc/32364| Название: | Изучение поверхности структур металл / кремний, приготовленных ионно-ассистированным нанесением покрытий |
| Авторы: | Ташлыков, Игорь Серафимович Тульев, Валентин Валентинович Барайшук, Сергей Михайлович |
| Ключевые слова: | БГПУ структуры металл / кремний элементный состав механические свойства топография поверхности ионно-ассистированное нанесение покрытий |
| Дата публикации: | 2010 |
| Серия/номер: | XL Международная конференция по физике взаимодействия заряженных частиц с кристаллами. Москва, 25 мая – 27 мая 2010 г.;с. 178 |
| Краткий осмотр (реферат): | Обсуждаются элементный состав, механические свойства и топография поверхности структур металл/кремний, сформированных ионно-ассистированным нанесением Ti, Со, Zr и Mo покрытий при ускоряющей разности потенциалов 3 кВ, интегральном потоке ассистирующих ионов 2·10^16 см^(–2) и плотности ионного тока ~ 0,26 мкА/см^2. Давление в мишенной камере составляло ~10^(–2) Па. Элементный состав поверхности структур изучали методом POP ионов гелия в сочетании с компьютерным моделированием RUMP, механические свойства – методом наноиндентирования, топографию поверхности – с применением сканирующей атомно-силовой микроскопии. |
| URI (Унифицированный идентификатор ресурса): | http://elib.bspu.by/handle/doc/32364 |
| Располагается в коллекциях: | Научные публикации физико-математического факультета |
Файлы этого ресурса:
| Файл | Описание | Размер | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| 3-ФВЗЧК-2010-178-БСМ.pdf | 357,45 kB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.