Изучение поверхности структур металл / кремний, приготовленных ионно-ассистированным нанесением покрытий
| dc.contributor.author | Ташлыков, Игорь Серафимович | |
| dc.contributor.author | Тульев, Валентин Валентинович | |
| dc.contributor.author | Барайшук, Сергей Михайлович | |
| dc.date.accessioned | 2018-03-30T13:00:32Z | |
| dc.date.available | 2018-03-30T13:00:32Z | |
| dc.date.issued | 2010 | |
| dc.description.abstract | Обсуждаются элементный состав, механические свойства и топография поверхности структур металл/кремний, сформированных ионно-ассистированным нанесением Ti, Со, Zr и Mo покрытий при ускоряющей разности потенциалов 3 кВ, интегральном потоке ассистирующих ионов 2·10^16 см^(–2) и плотности ионного тока ~ 0,26 мкА/см^2. Давление в мишенной камере составляло ~10^(–2) Па. Элементный состав поверхности структур изучали методом POP ионов гелия в сочетании с компьютерным моделированием RUMP, механические свойства – методом наноиндентирования, топографию поверхности – с применением сканирующей атомно-силовой микроскопии. | ru_RU |
| dc.identifier.uri | http://elib.bspu.by/handle/doc/32364 | |
| dc.language.iso | other | ru_RU |
| dc.relation.ispartofseries | XL Международная конференция по физике взаимодействия заряженных частиц с кристаллами. Москва, 25 мая – 27 мая 2010 г.;с. 178 | |
| dc.subject | БГПУ | ru_RU |
| dc.subject | структуры металл / кремний | ru_RU |
| dc.subject | элементный состав | ru_RU |
| dc.subject | механические свойства | ru_RU |
| dc.subject | топография поверхности | ru_RU |
| dc.subject | ионно-ассистированное нанесение покрытий | ru_RU |
| dc.title | Изучение поверхности структур металл / кремний, приготовленных ионно-ассистированным нанесением покрытий | ru_RU |
| dc.type | Working Paper | ru_RU |