Модифицирование нанотвердости и морфологии поверхности кремния ионно-ассистированным нанесением тонких пленок
Loading...
Date
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
Publisher
Abstract
Обсуждаются экспериментальные результаты по изучению механических свойств и топографии поверхности кремния, модифицированной ионно-ассистируемым осаждением покрытий Ti, Со, Zr и Мо.
Description
Keywords
БГПУ, кремний, нанотвердость, топография поверхности, ионно-ассистированное нанесение тонких пленок