Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс:
http://elib.bspu.by/handle/doc/32361Полная запись метаданных
| Поле DC | Значение | Язык |
|---|---|---|
| dc.contributor.author | Барайшук, Сергей Михайлович | - |
| dc.contributor.author | Тульев, Валентин Валентинович | - |
| dc.contributor.author | Гременок, В. Ф. | - |
| dc.contributor.author | Ташлыков, Игорь Серафимович | - |
| dc.date.accessioned | 2018-03-30T12:28:01Z | - |
| dc.date.available | 2018-03-30T12:28:01Z | - |
| dc.date.issued | 2009 | - |
| dc.identifier.uri | http://elib.bspu.by/handle/doc/32361 | - |
| dc.description.abstract | Обсуждаются экспериментальные результаты по изучению механических свойств и топографии поверхности кремния, модифицированной ионно-ассистируемым осаждением покрытий Ti, Со, Zr и Мо. | ru_RU |
| dc.language.iso | other | ru_RU |
| dc.relation.ispartofseries | XXXIX Международная конференция по физике взаимодействия заряженных частиц с кристаллами. Москва, 26 мая – 28 мая 2009 г.;с. 126 | - |
| dc.subject | БГПУ | ru_RU |
| dc.subject | кремний | ru_RU |
| dc.subject | нанотвердость | ru_RU |
| dc.subject | топография поверхности | ru_RU |
| dc.subject | ионно-ассистированное нанесение тонких пленок | ru_RU |
| dc.title | Модифицирование нанотвердости и морфологии поверхности кремния ионно-ассистированным нанесением тонких пленок | ru_RU |
| dc.type | Working Paper | ru_RU |
| Располагается в коллекциях: | Научные публикации физико-математического факультета | |
Файлы этого ресурса:
| Файл | Описание | Размер | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| 3-ФВЗЧК-2009-126-БСМ.pdf | 396,23 kB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.