Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс:
http://elib.bspu.by/handle/doc/32361| Название: | Модифицирование нанотвердости и морфологии поверхности кремния ионно-ассистированным нанесением тонких пленок |
| Авторы: | Барайшук, Сергей Михайлович Тульев, Валентин Валентинович Гременок, В. Ф. Ташлыков, Игорь Серафимович |
| Ключевые слова: | БГПУ кремний нанотвердость топография поверхности ионно-ассистированное нанесение тонких пленок |
| Дата публикации: | 2009 |
| Серия/номер: | XXXIX Международная конференция по физике взаимодействия заряженных частиц с кристаллами. Москва, 26 мая – 28 мая 2009 г.;с. 126 |
| Краткий осмотр (реферат): | Обсуждаются экспериментальные результаты по изучению механических свойств и топографии поверхности кремния, модифицированной ионно-ассистируемым осаждением покрытий Ti, Со, Zr и Мо. |
| URI (Унифицированный идентификатор ресурса): | http://elib.bspu.by/handle/doc/32361 |
| Располагается в коллекциях: | Научные публикации физико-математического факультета |
Файлы этого ресурса:
| Файл | Описание | Размер | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| 3-ФВЗЧК-2009-126-БСМ.pdf | 396,23 kB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.