Модифицирование нанотвердости и морфологии поверхности кремния ионно-ассистированным нанесением тонких пленок
| dc.contributor.author | Барайшук, Сергей Михайлович | |
| dc.contributor.author | Тульев, Валентин Валентинович | |
| dc.contributor.author | Гременок, В. Ф. | |
| dc.contributor.author | Ташлыков, Игорь Серафимович | |
| dc.date.accessioned | 2018-03-30T12:28:01Z | |
| dc.date.available | 2018-03-30T12:28:01Z | |
| dc.date.issued | 2009 | |
| dc.description.abstract | Обсуждаются экспериментальные результаты по изучению механических свойств и топографии поверхности кремния, модифицированной ионно-ассистируемым осаждением покрытий Ti, Со, Zr и Мо. | ru_RU |
| dc.identifier.uri | http://elib.bspu.by/handle/doc/32361 | |
| dc.language.iso | other | ru_RU |
| dc.relation.ispartofseries | XXXIX Международная конференция по физике взаимодействия заряженных частиц с кристаллами. Москва, 26 мая – 28 мая 2009 г.;с. 126 | |
| dc.subject | БГПУ | ru_RU |
| dc.subject | кремний | ru_RU |
| dc.subject | нанотвердость | ru_RU |
| dc.subject | топография поверхности | ru_RU |
| dc.subject | ионно-ассистированное нанесение тонких пленок | ru_RU |
| dc.title | Модифицирование нанотвердости и морфологии поверхности кремния ионно-ассистированным нанесением тонких пленок | ru_RU |
| dc.type | Working Paper | ru_RU |