Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс: http://elib.bspu.by/handle/doc/32093
Название: Элементный послойный анализ и свойства поверхности структур Мо пленка / стеклянная подложка, формируемых при ассистировании собственными ионами
Авторы: Михалкович, Олег Михайлович
Бобрович, Олег Георгиевич
Ташлыков, Игорь Серафимович
Куликаускас, B. C.
Ключевые слова: БГПУ
стекло
Мо пленка
ионно-ассистированное нанесение покрытий
метод ассистирования собственными ионами (ОПАСИ)
Дата публикации: 2015
Серия/номер: XLV международная Тулиновская конференция по физике взаимодействия заряженных частиц с кристаллами. Москва, 26 мая – 28 мая 2015 г.;с. 115
Краткий осмотр (реферат): Изучен элементный послойный анализ и свойства поверхности структур Мо пленка / стеклянная подложка, формируемых при ассистировании собственными ионами (ОПАСИ). Сделан вывод, что метод ОПАСИ позволяет получать пленки с хорошо воспроизводимым составом и управляемыми свойствами.
URI (Унифицированный идентификатор ресурса): http://elib.bspu.by/handle/doc/32093
Располагается в коллекциях:Научные публикации физико-математического факультета

Файлы этого ресурса:
Файл Описание РазмерФормат 
3-ФВЗЧК-2015-115-МОМ.pdf328,64 kBAdobe PDFПросмотреть/Открыть


Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.