Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс:
http://elib.bspu.by/handle/doc/32090
Название: | Состав и морфология покрытий (Ti, W), осажденных на кремний при ионном ассистировании |
Авторы: | Бобрович, Олег Георгиевич Михалкович, Олег Михайлович Ташлыков, Игорь Серафимович |
Ключевые слова: | БГПУ Si Ti W ионно-ассистированное нанесение покрытий структура покрытия топография поверхности |
Дата публикации: | 2013 |
Серия/номер: | XLIII международная Тулиновская конференция по физике взаимодействия заряженных частиц с кристаллами. Москва, 28 мая – 30 мая 2013 г.;с. 106 |
Краткий осмотр (реферат): | Изучен состав и морфология покрытий (Ti, W), осажденных на кремний при ионном ассистировании. |
URI (Унифицированный идентификатор ресурса): | http://elib.bspu.by/handle/doc/32090 |
Располагается в коллекциях: | Научные публикации физико-математического факультета |
Файлы этого ресурса:
Файл | Описание | Размер | Формат | |
---|---|---|---|---|
3-ФВЗЧК-2013-106-МОМ.pdf | 330,12 kB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.