Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс:
http://elib.bspu.by/handle/doc/32088| Название: | Радиационно-управляемый массоперенос в кремнии при нанесении тонких металлических пленок |
| Авторы: | Михалкович, Олег Михайлович Ташлыков, Игорь Серафимович |
| Ключевые слова: | БГПУ кремний ионно-ассистированное нанесение покрытий методом ОПАСИ тонкие пленки ионная имплантация ксенона массоперенос |
| Дата публикации: | 2013 |
| Серия/номер: | XLIII международная Тулиновская конференция по физике взаимодействия заряженных частиц с кристаллами. Москва, 28 мая – 30 мая 2013 г.;c. 105 |
| Краткий осмотр (реферат): | Изучен процесс массопереноса в области межфазной границы структуры покрытие/кремний, формируемой методом ОПАСИ, и влияние на них предварительной имплантации ионов ксенона. |
| URI (Унифицированный идентификатор ресурса): | http://elib.bspu.by/handle/doc/32088 |
| Располагается в коллекциях: | Научные публикации физико-математического факультета |
Файлы этого ресурса:
| Файл | Описание | Размер | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| 3-ФВЗЧК-2013-105-МОМ.pdf | 343,62 kB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.