1. Репозиторий БГПУ
  2. ФАКУЛЬТЕТЫ. ИНСТИТУТЫ
  3. Физико-математический факультет
  4. Научные публикации физико-математического факультета
Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс: http://elib.bspu.by/handle/doc/32088
Полная запись метаданных
Поле DCЗначениеЯзык
dc.contributor.authorМихалкович, Олег Михайлович-
dc.contributor.authorТашлыков, Игорь Серафимович-
dc.date.accessioned2018-03-23T09:48:41Z-
dc.date.available2018-03-23T09:48:41Z-
dc.date.issued2013-
dc.identifier.urihttp://elib.bspu.by/handle/doc/32088-
dc.description.abstractИзучен процесс массопереноса в области межфазной границы структуры покрытие/кремний, формируемой методом ОПАСИ, и влияние на них предварительной имплантации ионов ксенона.ru_RU
dc.language.isootherru_RU
dc.relation.ispartofseriesXLIII международная Тулиновская конференция по физике взаимодействия заряженных частиц с кристаллами. Москва, 28 мая – 30 мая 2013 г.;c. 105-
dc.subjectБГПУru_RU
dc.subjectкремнийru_RU
dc.subjectионно-ассистированное нанесение покрытий методом ОПАСИru_RU
dc.subjectтонкие пленкиru_RU
dc.subjectионная имплантация ксенонаru_RU
dc.subjectмассопереносru_RU
dc.titleРадиационно-управляемый массоперенос в кремнии при нанесении тонких металлических пленокru_RU
dc.typeWorking Paperru_RU
Располагается в коллекциях:Научные публикации физико-математического факультета

Файлы этого ресурса:
Файл Описание РазмерФормат 
3-ФВЗЧК-2013-105-МОМ.pdf343,62 kBAdobe PDFПросмотреть/Открыть
Показать базовое описание ресурса


Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.