Влияние облучения кремния ионами Хе+ на повреждение его структуры, топографию и смачиваемость нанесенных на него Ti и Со покрытий
Loading...
Date
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
Publisher
Abstract
Изучено влияние облучения кремния ионами Хе+ на повреждение его структуры, топографию и смачиваемость нанесенных на него Ti и Со покрытий.
Description
Keywords
БГПУ, кремний, ионно-ассистированное осаждение Ti и Со покрытий, облучение ионами Хе+, повреждение структуры, смачиваемость, топография поверхности