Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс: http://elib.bspu.by/handle/doc/31908
Название: Влияние облучения кремния ионами Хе+ на повреждение его структуры, топографию и смачиваемость нанесенных на него Ti и Со покрытий
Авторы: Михалкович, Олег Михайлович
Туровец, А. И.
Ташлыков, Игорь Серафимович
Ермаков, Ю. А.
Черныш, B. C.
Ключевые слова: БГПУ
кремний
ионно-ассистированное осаждение Ti и Со покрытий
облучение ионами Хе+
повреждение структуры
смачиваемость
топография поверхности
Дата публикации: 2010
Серия/номер: XL международная конференция по физике взаимодействия заряженных частиц с кристаллами. Москва, 25 мая – 27 мая 2010 г.;c. 177
Краткий осмотр (реферат): Изучено влияние облучения кремния ионами Хе+ на повреждение его структуры, топографию и смачиваемость нанесенных на него Ti и Со покрытий.
URI (Унифицированный идентификатор ресурса): http://elib.bspu.by/handle/doc/31908
Располагается в коллекциях:Научные публикации физико-математического факультета

Файлы этого ресурса:
Файл Описание РазмерФормат 
3-ФВЗЧК-2010-177-МОМ.pdf380,07 kBAdobe PDFПросмотреть/Открыть


Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.